東京工業(yè)大學(xué)校長(zhǎng)益一哉等人與NTT尖端技術(shù)公司利用包含多個(gè)金屬層的積層金屬結(jié)構(gòu)，成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))加速度傳感器，實(shí)現(xiàn)了1微(μ)G級(jí)(G=9.8m/s2，重力加速度)的高分辨率檢測(cè)。

這一創(chuàng)新技術(shù)提高了超小型加速度傳感器的分辨率，并實(shí)現(xiàn)其通用化，可用于醫(yī)療保健、基礎(chǔ)設(shè)施診斷、移動(dòng)體控制、機(jī)器人應(yīng)用等各種運(yùn)動(dòng)檢測(cè)中，有助開發(fā)新的器件和系統(tǒng)。

該研究小組此前提出過利用金材料將MEMS加速度傳感器的砝碼體積削減至十分之一以下的方法。此次以該方法為基礎(chǔ)，通過重疊多層金層形成MEMS結(jié)構(gòu)，增加了單位面積的砝碼重量，與以往相同尺寸的傳感器相比，靈敏度提高百倍以上，噪聲降至十分之一以下。

相關(guān)研究近日發(fā)表于國(guó)際學(xué)術(shù)論文期刊《傳感器與材料》網(wǎng)絡(luò)版。

(來(lái)源：日本科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu))