上海精積微收獲明場檢測設(shè)備訂單 將于今年10月出機(jī)
上證報(bào)中國證券網(wǎng)訊上海精積微半導(dǎo)體于本周斬獲兩臺明場檢測BFI100型設(shè)備訂單，該型號設(shè)備主要用于65nm80nm的半導(dǎo)體產(chǎn)線制程監(jiān)控。首臺設(shè)備預(yù)計(jì)今年10月出機(jī)，將改善明場檢測設(shè)備短缺問題。
明場檢測設(shè)備一般用于有圖形晶圓的缺陷檢測，技術(shù)難度接近光刻機(jī)。作為半導(dǎo)體前道檢測必備的主設(shè)備，明場檢測的核心技術(shù)一直被國外幾家公司壟斷，此次BFI100作為國內(nèi)首個量產(chǎn)型號的明場檢測設(shè)備，將助力我國半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
公開資料顯示，上海精積微半導(dǎo)體是精測電子（300567）合并報(bào)表范圍內(nèi)公司。精測電子主要從事顯示、半導(dǎo)體、新能源檢測系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。3月9日，精測電子控股子公司常州精測與中創(chuàng)新航簽署《戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議》，雙方將攜手就鋰電設(shè)備領(lǐng)域及相應(yīng)服務(wù)開展深度合作。(程微)
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